Analyse électrique de la métallisation de puce d'un MOSFET par mesure de potentiel de source

Auteurs : Ruffelli Roberta ², Berkani Mounira ¹, Rostaing Gilles ¹, Legros Marc ², Lefebvre Stéphane ¹, Dupuy Philippe ³

Affiliations : 1 - Systèmes et Applications des Technologies de l'Information et de l'Energie - SATIE (France), 2 - Centre d'élaboration de matériaux et d'études structurales - CEMES CNRS (France), 3 - NXP France SAS (France)

Thématique : Composants semi-conducteurs de puissance
Session : SO-2A "Composants semi-conducteurs de puissance"