Epitaxie localisée de P-GaN par EJM pour la fabrication de HEMTs AlGaN/GaN normally-off

Auteurs : Daniel Rouly, Josiane Tasselli, Patrick Austin, Yvon Cordier, Aimeric Courvil, François Vaurette, Aurélie Lecestre, Benjamin Reig, Karine Isoird, Frédéric Morancho